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名 稱
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參 數(shù)
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工
作
臺
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金屬臺面尺寸(mm)
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750 ×650
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方形玻璃臺面尺寸:(mm)
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620X620
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X座標行程:(mm)
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600
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Y座標行程：(mm)
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600
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儀器外形尺寸(長)Х(寬)Х(高) mm：
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950Х 1100 Х1100
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儀器重量（kg）：
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480
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Z座標升降行程:(mm)：220(調焦) 工作距離（mm）：200
X/Y/Z數(shù)顯解析度：0.0005mm (0.5um) X、Y坐標示值誤差：≤（3+L/200）μm
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影
像
系
統(tǒng)
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攝影機：彩色1/3″CCD攝影機(日本索尼芯片 580線高分辨率工業(yè)攝像機）
美國變焦物鏡倍率：0.7～4.5X（定格變倍，無需每次校準）
視頻總倍率：30X～230X
物方視場：7～1.1mm
傳動型式：X、Y、Z軸均採用馬達驅動滾珠絲桿傳動的型式
電腦自動採樣，端口輸出，專業(yè)軟體進行資料分析處理
X、Y軸馬達運動速度＜120mm/s Z軸馬達運動速度＜60 mm/s
馬達運動步長0.4 mm/步 馬達分辨率1000步/轉
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