韓國原裝進口高精度氣體質量流量計/氣體質量流量控制器，使用特別的熱傳感器和控制電路提高計算精度。廣泛應用于半導體工業和其他行業，產品設計堅固、耐用，且經濟。
應用：
所有工業/氣體混合及分析/注氣、表面加工行業（PVC,CVD,反應器等）/半導體工業/部件泄露檢測/產品研究和開發/高壓行業/光纖/燃料電池/反應器系統/氣體的混合系統
優勢：
l 測量質量流量
l 不需要溫度、壓力補償
l 緊湊的流量控制系統
l 高精度（±1%F.S）
l 耐高壓（95公斤）
l 快速響應時間（＜1秒）
l 高重復性（±0.25%F.S)
規格：
型號
M2100V/A
流量范圍（N2)
30~100 slpm
響應時間
＜2秒
精確度
±1%
重復精度
±0.25%
輸入輸出信號
0~5Vdc or 4~20mA
供電
+15Vdc or +24Vdc,350mA
最大工作壓力
30~1000 psia
最大工作溫度
0~50℃
漏率
1×10-9atm.cc/sec
控制范圍
2~100%
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